Бумажные издания
-
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы Александр Столяров
ISBN: 5-94836-039-3 Год издания: 2006 Издательство: Техносфера Язык: Русский Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов
-
Произведения