Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Игорь Житяев
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования…
Развернуть
| Издательство: | Южный федеральный университет |
Лучшая подборка с книгой
Похожие книги
Вы можете посоветовать похожие книги по сюжету, жанру, стилю или настроению. Предложенные вами книги другие пользователи увидят здесь, в блоке «Похожие книги». Посоветовать книгу
