Еще
Логотип LiveLibЛента
Игорь Житяев - Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
18+
User AvatarВаша оценка
0
(0)

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

Игорь Житяев
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология...

Жанры

Издательство:

ФГАОУВО "Южный Федеральный Университет"

ISBN:

9785927523955

Год издания:

2019

Язык:

Русский

Возрастные ограничения:

18+

Рейтинг LiveLib

0
0 оценок
Эту книгу пока никто не оценил, ваша оценка может стать первой
User AvatarВаша оценка
Хотят прочитать 2

Рецензии

На эту книгу еще нет ни одной рецензии. Ваша может стать первой.

Популярное

Цитаты

Еще не добавлена ни одна цитата из книги. Ваша может стать первой.

Другие издания

  • Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии